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微波开关电源

  • 电源输出稳定,不受电网波动影响
  • IGBT高频高压开关电源
  • 阳极电源主回路采用IGBT全桥逆变软开关技术,效率高,性能稳定
  • 阳极电源采用全数字化控制,具有完善的保护和控制功能
  • 阳极电源纹波低,磁控管打火时输出能量小,响应快,对磁控管冲击小

微波开关电源

微波开关电源是基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源,集阳极高压电源、灯丝电源和磁场电源(3kW微波电源除外)于一体,为3kW、6kW、10kW、15kW、25kW、75kW、100kW连续波磁控管提供工作条件。该产品用于MPCVD、微波等离子体刻蚀、微波等离子体去胶等领域。

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